Bagaimanakah pertumbuhan epitaxial berfungsi?

Isi kandungan:

Bagaimanakah pertumbuhan epitaxial berfungsi?
Bagaimanakah pertumbuhan epitaxial berfungsi?

Video: Bagaimanakah pertumbuhan epitaxial berfungsi?

Video: Bagaimanakah pertumbuhan epitaxial berfungsi?
Video: Epitaksi 2024, Mac
Anonim

Epitaxy, proses menumbuhkan kristal dengan orientasi tertentu di atas kristal lain, di mana orientasi ditentukan oleh kristal asas. penciptaan pelbagai lapisan dalam wafer semikonduktor, seperti yang digunakan dalam litar bersepadu, adalah aplikasi biasa untuk proses tersebut.

Bagaimanakah pertumbuhan epitaxial dicapai?

Kaedah. Silikon epitaxial biasanya ditanam menggunakan vapor-phase epitaxy (VPE), pengubahsuaian pemendapan wap kimia. Epitaksi rasuk molekul dan fasa cecair (MBE dan LPE) juga digunakan, terutamanya untuk semikonduktor kompaun. Epitaksi fasa pepejal digunakan terutamanya untuk penyembuhan kerosakan kristal.

Gas manakah yang digunakan untuk pertumbuhan epitaxial?

Semasa kitaran pertumbuhan epitaxial, wafer GaAs yang telah dibersihkan telah dimuatkan ke dalam ruang reaktor kuarza menegak yang mengandungi takungan atas cecair unsur galium di mana gas HCl kontang dimeterkan, membentuk GaCl3.

Apakah kegunaan lapisan epitaxial?

peranti fotonik

Untuk pelepasan atau pengesanan foton yang cekap, selalunya perlu untuk mengekang proses ini kepada lapisan semikonduktor yang sangat nipis. Lapisan nipis ini, tumbuh di atas wafer semikonduktor pukal, dipanggil lapisan epitaxial kerana kehablurannya sepadan dengan substrat walaupun…

Apakah parameter utama yang perlu dikawal dalam pertumbuhan epitaxial?

Proses pertumbuhan melibatkan pengoptimuman parameter utama, iaitu suhu, tekanan dan aliran gas, untuk mendapatkan kawalan penuh selektiviti (iaitu nukleasi polysilicon pada kawasan medan), dinding sisi faceting, penjanaan kecacatan dan autodoping.

Disyorkan: